干式螺桿真空泵原理主要是利用一對(duì)經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正的螺桿，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，所以使得干式螺桿真空泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油。干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體，應(yīng)用的領(lǐng)域主要在一些精細(xì)化工，制藥等極限真空更高，對(duì)環(huán)境污染更少的相關(guān)領(lǐng)域。目前我國(guó)高端的干式泵主要來(lái)自外國(guó)品牌，國(guó)內(nèi)研發(fā)和生產(chǎn)干式泵的企業(yè)也在逐漸涌現(xiàn)。

　　干式螺桿真空泵，它利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。它的優(yōu)勢(shì)彌補(bǔ)了油封式真空泵的不足，但是干式螺桿真空泵的造價(jià)也是它的不足之處。接下來(lái)主要介紹它的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)：

干式螺桿真空泵的優(yōu)點(diǎn)

　　1、工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣工況

　　2、氣體在泵內(nèi)無(wú)壓縮，適宜抽取可凝性氣體

　　3、不耗油，無(wú)滴漏

　　4、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便。

5、被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無(wú)環(huán)保壓力，氣體回收更便捷。

6、部分高端泵通過(guò)在泵表面設(shè)置一個(gè)夾層有效利用循環(huán)水解決泵體溫度過(guò)高的問(wèn)題，比如NASH干式泵

干式螺桿真空泵的缺點(diǎn)

　　1、由于螺桿泵加工難度大，我國(guó)使用的螺桿泵主要依靠外國(guó)品牌，價(jià)格略顯昂貴。

　　2、不適于抽除含有爆炸性的氣體。

　　3、不適于抽除含氧過(guò)高的氣體。

　　隨著我國(guó)工業(yè)界的發(fā)展，在半導(dǎo)體工業(yè)、液晶顯示器、精細(xì)化工、醫(yī)藥等工藝制造中，對(duì)清潔真空環(huán)境的要求越來(lái)越高，而傳統(tǒng)的有油真空泵已經(jīng)達(dá)不到這樣的要求了。螺桿型干式真空泵以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn)，得到越來(lái)越多制造和應(yīng)用單位的重視，在干式真空泵市場(chǎng)中占有重要的地位。在歐美和日本等發(fā)達(dá)國(guó)家，螺桿型干式真空泵在很多領(lǐng)域已經(jīng)越來(lái)越多的代替了傳統(tǒng)的水環(huán)式真空泵和油泵。